真空高低温探针台：
简介：
■ 80K到400K 温度范围
■ 高真空腔体，极限真空度10-5pA以下
■ 6个高真空波纹探针臂
■ 可选直流、脉冲、光脉冲测量功能
■ 一体式隔振落地支架，高达98%以上隔振效果
图片：
规格：
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配件 |
参数规格 |
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1． |
12英寸方形样品盘 样品盘表面镀金 电悬空或背栅电极使用 样品盘漏电精度100fA |
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2． |
屏蔽层 |
6英寸屏蔽层 |
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3． |
视窗 |
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4． |
波纹臂接口 |
6个 |
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5． |
显微精度 |
5微米 |
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6． |
隔振支架 |
隔振效率大于98% |
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7． |
温控范围 |
80K至400K |
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8． |
温控分辨率 |
10mK |
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9． |
温控稳定度 |
±100mK |
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10． |
温控回路 |
PID回路 |
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11． |
控制软件 |
自动控制软件，可实现程序控温 可与高精度源表、函数信号发生器等共用 |
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12． |
测试探针臂 |
XYZ三维位移行程50mmX50mmX25mm 位移精度2微米； |
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13． |
电流测量 |
直电压电流测量精度100fA |
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14． |
电压电容测量精度10pF |
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15． |
电脉冲测量 |
快速脉冲测量精度10nS |
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16． |
光脉冲测量 |
光脉冲测量范围200nm~2000nm |
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17. |
探针热锚 |
探针、样品台、屏蔽保护层相互热锚 |
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18. |
钨探针 |
针尖5.0/10.0/15.0微米 |
